白光干涉仪的使用特点和应用领域

白光干涉仪的使用特点和应用领域

PRB系列白光干涉仪​具有以下使用特点：仪器具有非接触、高稳定性、高速度测量的特点；高精度测量、垂直重复测量精度可达1nm；垂直解析度可达0.1nm、水平解析度可达0.1um，大面积测量，自动缝合技术实现大面积高精度测量，功能强大使用便捷的测量分析软件：PuruiVision应用软件可提供多项测量参数；适用范围广泛，可以测量多种类型样品的表面微细结构；真正意义的免维护及优良的性能价格比。

白光干涉仪软件功能：硬件控制、二维载物平台自动控制、光学系统自动聚焦、干涉信号处理；测量结果显示及各种方式处理：二维平面和三维立体显示、任意放大或缩小显示图像、调平和多角度自由旋转；粗糙度测量及结果显示：包括评价区域位置信息和多种粗糙度评价参数；线宽测量及结果显示：采用亚像素插值处理技术，线宽测量精度最高可达0.1um、表格形式显示各种线宽结果、根据事先确定的评判基准，实现线宽自动评判功能；多幅相邻区域测量结果自动缝合

白光干涉仪的应用领域主要有：在众多高科技研发及产业中，诸如半导体、微机电、平面显示器、电子封装及光学加工等，由于微结构表面轮廓的准确性决定产品的功能和效能，在其制成过程中皆需针对微结构的表面轮廓品质进行检测，PRB系列产品提供多种表面参数量测功能如断差高度、线宽、面积、体积、粗糙度、薄膜厚度及平整度等以满足业界及研究部门之需求。无论是抛光表面还是粗糙表面，只要反光率超过1%，就能被完全检测出来。诸如：半导体硅片及器件、MEMS装置表面、平面液晶显示器、薄膜厚度、金属摩擦学、陶瓷基板表面、光学器件表面、其他材料分析及微表面研究等。

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