光学薄膜测厚仪的工作原理及其使用优点

  随着光学在各个领域的广泛应用,使得它也能为薄膜测厚行业里带来贡献。其中就有大众所知的光学膜厚测量仪。它利用光学的特点,能够直接检测出物体透明或者半透明涂层的厚度。光学膜厚测量仪所利用的工作原理,便是光的折射与反射。
  这种仪器在测量时,摆放在被测件的上方,从仪器的测头部分发射出垂直向下的可视光线。其中一部分光会在膜的表面形成反射,另一部分则会透过被测试的薄膜,在薄膜与衬底之间的界面形成反射,薄膜表面以及薄膜的底部同时反射的光会造成干涉的现象。仪器便是利用了这一现象,从而测量出薄膜的厚度。厚度的测量看似简单,实测上所利用的光反射原理,却是需要经过一系列的设计才能达到如此理想状态。如此光学膜厚测量仪的使用,便也有着其它传统测厚仪所没有的优点。
  它能够避免前期的样品处理,甚至不需要样品来进行试样工作。传统的测厚仪,在测量物件时,需要进行样品的预处理,使样品与被测量物件一致,在测量时直接应用于样品测量。而光学测厚仪是直接应用于被测量物体。这样的一个过程便为我们节省了不少的工作以及资源。利用光学膜厚测量仪,它可以避免了被测量物件的损坏。之所以普通传统的测厚仪需要用到样品来进行试测,就是因为在测量时,会对物体造成一定程度的表面损坏,为了避免物件的损坏,才会需要应用样品。而光学的测厚仪,虽然直接应用于物件表面,但其它放射出来的光却是一样没有实质的事物,在测量的时候并不会对物件造成什么样的损伤。
  光学薄膜测厚仪的使用并不仅仅有着以上这些优点,它的最大优点还是在于它的精确度比普通的测厚仪高。既使是很微小的物件,也可以利用这样的一种仪器来测量它的厚度,而且还不用担心物件会因此而受到破坏。于是,光学测厚仪也就成了人们眼中的香勃勃。

创建时间:2020-10-13 13:24
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