白光干涉仪能测量什么？

   白光干涉仪是一种用于表面纹理、微结构分析、各种表面测试、自动聚焦测量工件2的白光干涉技术D，3D广泛应用于光学、半导体、材料、精密机械等领域。

  例如，中国的半导体工业技术，特别是芯片的研发和制造，与国外制造业还有很大差距。目前，我们可以大规模生产28项成熟技术nm工艺芯片；144小批量生产；工艺芯片，但产量不高。

  其中，晶圆膜厚度、粗糙度、平整度(翘曲)、晶圆切割槽深度、槽宽、边形等参数需要测量。

  X/Y标准行程为14000*100mm，减薄后，自动检测微纳米级精度，如多区域粗糙度、激光槽深宽尺寸、涂层台阶等。SuperViewW1-Pro与白光干涉仪相比W1增加测量范围，可完全覆盖8英寸及以下晶圆，定制真空吸附板，稳定固定Wafer；气浮隔振+隔离地面振动和噪声干扰的外壳分离设计。

  以上就是小编今日为大家介绍的白光干涉仪，感谢大家耐心地阅读！