3D光学轮廓仪了解一下

   3D光学轮廓仪是一种理想的面纹理参数的理想工具，对于几乎所有与其他部件接触的机械部件都有非常重要的测试价值。

   3D光学轮廓仪一个非常有用的工具，用于设备的表面特性。传统上，光学轮廓仪用于测量样品的表面特性。然而，在测量过程中，测量的样品应保持静止。如果样品不稳定或移动，将导致图像混淆、数据不完整或数据丢失。然而，对MEMS对于设备，有必要确定设备在移动状态下的外观特征。了解和确定其在移动状态下的功能和特征对于控制研发和生产质量非常重要。作为质量检验，只有动态测量才能真正模拟MEMS实际运行状态，从而实现真正的功能检测。

  3D系统配置及光学轮廓仪功能：PSI(相位移测试模式)1.2VSI(垂直扫描测试模式)；不同放大倍率物镜：10X，50x；综合设计气浮防震平台，确保较佳测试条件；200mm全自动样品台，可程序化控制，样品可容纳300多个样品mm；全自动物镜切换塔可配备4个物镜，物镜可通过软件全自动更换；全自动物镜切换塔可配备3个目镜，物镜可通过软件全自动更换。

  众所周知，3D光学轮廓仪可用于测量表面形状。随着机械精度和光学处理能力的提高，这些表面的量化已成为过程控制的关键。