为什么要用北京白光干涉仪？

为什么要用北京白光干涉仪？

目前，北京白光干涉仪是3D检测领域中精度较高的测量仪器之一，其检测精度和重复精度在同等系统放大倍率下高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在某些纳米和亚纳米级超精密加工领域中，除白光干涉仪外，其他仪器均无法达到其测量精度要求。

北京白光干涉仪的原理：

通过半反半透式分光镜分威两束光，将照明光束分别投射到样品表面和参考镜表面。再经分光镜反射两面的光束，再合成一道光束，由成像系统在CCD相机感光面上形成两个叠加像。在CCD照相机感光面上，由于两束光相互干涉，观察到明暗相间的干涉条纹。两束光的光程差决定了干涉条纹的亮度，根据白光干涉条纹的明暗度和干涉条纹出现的位置，分析了样品的相对高度。

北京白光干涉仪测量：

在单刻线测步为倒的情况下，检查仪器的每一线接头都要精确插入相应的插孔，打开仪器电源开关，启动计算机，将单刻线测步工件置于载物台中间，先手动调整载物台的大概位置，对准白光干涉仪目镜下面。

打开电脑白光干涉测量软件，在软件界面上设定好目镜下降的较低点，再微调镜头到被测单刻线台阶面的距离，调节到电脑屏幕上能看到两三条干涉条纹，此时设定好扫描距离即可。白光干涉仪通过按下启动按钮，即可自动进行扫描测量，完成测量后，转片自动生成3D图像，测量人员可对三维图像进行数据分析，得到被测器件表面线条、粗糙度及轮廓的2D、0D参数。

北京白光干涉仪具有测量精度高，操作方便，功能全面，测量参数涵盖面广等优点，在2分钟内完成对单个精密器件的测量，保证了高速检测。其独特的白光模式，可广泛应用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

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