【应用领域】

在众多高科技研发及产业中，诸如半导体、微机电、平面显示器、电子封装及光学加工等，由于微结构表面轮廓的准确性决定产品的功能和效能，在其制成过程中皆需针对微结构的表面轮廓品质进行检测，PRB系列产品提供多种表面参数量测功能如断差高度、线宽、面积、体积、粗糙度、薄膜厚度及平整度等以满足业界及研究部门之需求。无论是抛光表面还是粗糙表面，只要反光率超过1%，就能被完全检测出来。

      半导体硅片及器件           

      MEMS装置表面

      平面液晶显示器

      薄膜厚度

      金属摩擦学学                                      

      陶瓷基板表面

      光学器件表面

      其他材料分析及微表面研究

【测量实例】