软件功能

【软件功能】

1、硬件控制、二维载物平台自动控制、光学系统自动聚焦、干涉信号处理

2、测量结果显示及各种方式处理

3、二维平面和三维立体显示

      任意放大或缩小显示图像

      调平和多角度自由旋转

4、粗糙度测量及结果显示

      包括评价区域位置信息和多种粗糙度评价参数

5、线宽测量及结果显示

      采用亚像素插值处理技术，线宽测量精度最高可达0.1um

      表格形式显示各种线宽结果

      根据事先确定的评判基准，实现线宽自动评判功能

6、多幅相邻区域测量结果自动缝合