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研发领域

白光干涉三维形貌测量仪器

干涉镜头、精密移动部件和SDK软件包

分光干涉薄膜厚度测量仪器

形貌和厚度在线检测设备     

精密控制系统

数字信号处理系统(创新算法及硬件处理系统的开发研究)

光学及精密机械系统

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