产品简介

【产品简介】

FGM-T500M红外厚度测量仪采用光学干涉原理、非接触测量折射率较大或者厚度较大的样品，比如硅晶圆、铌酸锂、钽酸锂等，测量分辨率达到纳米量级。该仪器具有测量迅速、操作简单、结果稳定、用户使用界面易于操作等特点，是目前市场上性价比优良的厚度测量仪之一。可用于离线或在线厚度的实时测量。

【测量原理】

白色照明光源垂直照射到待测薄膜，一部分光经过薄膜上表面的反射，返回到分光仪。另一部分透过薄膜上表面，经过薄膜与底层之间的界面反射，返回到分光仪。这两束光在分光仪的光电转换器表面重合，形成分光干涉条纹。根据分光干涉条纹的周期和薄膜厚度的关系，利用傅立叶变换方法，解析薄膜的厚度。

 【系统构成】

【性能参数】

【产品图片】

【测量实例】