【技术特点】

白光干涉三维形貌仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。

【使用特点】 

Ø  高稳定性测量   非接触高速度测量 

Ø  高精度测量   垂直解析度可达0.1nm、水平解析度可达0.1um

Ø  大面积测量   自动缝合技术实现大面积高精度测量

Ø  分析软件功能完备   PuruiVision3D应用软件使用便捷、可提供多项测量结果（高度、线宽、粗糙度、平面度）

Ø  适用范围宽   可以测量多种类型样品的表面微细结构

Ø  性价比优良   真正意义的免维护及优良的性能价格比