在线测量

【系统简介】

应用实时膜厚测量技术，在静电涂布装置上装配可以测量和涂布宽度相同的膜厚测量感应器，将膜厚信息反馈至涂布装置，建立可以实时控制成膜速度的功能强大的在线系统。

【技术特点】

1）实时测量厚度范围1um-300um；

2）光源的波长范围380nm-780nm；

3）使用高亮度的平行线光学照明系统，利用光线追踪模拟手法，实现均匀的光亮分布；

4）使用本公司独立研发的膜厚相机，采用特殊的成像光学系统，降低条纹状光谱图像。并通过改良的分析算法，降低高速CMOS相机感应器的噪音；

5）根据系统捕捉到的光谱数据自动调整光源的输出功率，实时确认光谱图像数据，不会出现图像的饱和；对于反射率非常低的样品，系统可以自动增加相机的曝光时间，确保获取到最适合的光谱数据；

6）采用高速选择检出的实时膜厚分析算法，实现长时间稳定的高速高精度测量；

【系统图片】