转速精密在线测量系统

【系统构成】

◈ 光学干涉测量系统模块

◈ 数据采集模块

◈ 数据解析和结果表示模块

【系统示意图】

光学干涉测量系统主要由激光光源、迈克尔逊干涉光学系统和光强度探测器构成。

【工作原理】

转盘带动反射镜沿逆时针方向高速旋转。从反射镜反射回的两束光的位相差和反射镜的位置密切相关。当反射镜的位置接近示意图所示的标准位置，两束光的位相差逐渐变小。当反射镜的位置和标准位置重合时，两束光的位相差为零时。当反射镜的位置离开标准位置时，两束光的位相差逐渐变大。使用光学干涉仪精密测量两束光的位相差和时间的关系。通过分析该数据，计算转盘的转速。

【模拟干涉强度分布实例】

                                                  图(a)高转速的干涉强度                                       图(b)低转速的干涉强度